• بازدید : 39 views
  • بدون نظر

تعداد صفحات :۱۴۴ فرمت فایل pdf
تكنیك های مختلف ساخت میكرو بسیار متفاوت از تكنیك های ساختی هستند كه برای ماشین های معمولی بكار تولیدات میكرو سیستم ها و packaging میگیریم  اگرچه برخی از تكنیك های ساخت سنتی و معمول را میتوان در و میكروسیستمها را نمیتوان از روشهای ساخت MEMS بكار گرفت  تكنولوژی موجود جهت ساخت MEMS
مورد استفاده در میكروالكترونیك جدا نمود .در این مجموعه ، با توجه به تحقیقاتی كه تا كنون ارائه شده است ، ابتدا به معرف ی میكروپمپ ها پرداخته میشود . برای
درك بهتر مفاهیم اولیه ، میكروپمپها بر اساس روشهای مختلف راه اندازی میكروپمپ و تشریح چگونگی عمل پمپاژ تقسیم بندی میشوند . در تقسیم بندی دیگری میكروپمپ ها بر اساس روش یكطرفه شدن جریان در آنها مورد بررسی قرار میگیرند . با توجه به روش بكار اندازی میكروپمپ ، جریان سیال میتواند پیوسته و یا بصورت پالسی باشد . بدین
ترتیب میكروپمپ ها از این دیدگاه نیز بررسی شده و در نهایت با ارائه موارد كاربردی ، اهمیت ادامه تحقیقات در این زمینه روشن خواهد شد .

چكیده
در این مجموعه ، با توجه به تحقیقاتی كه تا كنون ارائه شده است ، ابتدا به معرف ی میكروپمپ ها پرداخته میشود . برای
درك بهتر مفاهیم اولیه ، میكروپمپها بر اساس روشهای مختلف راه اندازی میكروپمپ و تشریح چگونگی عمل پمپاژ
تقسیم بندی میشوند . در تقسیم بندی دیگری میكروپمپ ها بر اساس روش یكطرفه شدن جریان در آنها مورد بررسی
قرار میگیرند . با توجه به روش بكار اندازی میكروپمپ ، جریان سیال میتواند پیوسته و یا بصورت پالسی باشد . بدین
ترتیب میكروپمپ ها از این دیدگاه نیز بررسی شده و در نهایت با ارائه موارد كاربردی ، اهمیت ادامه تحقیقات در این
زمینه روشن خواهد شد .
تلاش شده است با دیدگاه ساخت نمونه ای نو ، اطلاعاتی مقدماتی در زمینه میكروپمپها گردآوری شود تا با توجه به
اهمیت فراوان و نیاز به كاربرد روزافزون میكروپمپ ها در تكنولوژی مدرن ، گامی كوچك در این امر برداشته شود .
لذا در این مجموعه به معرفی مواد مورد استفاده در ساخت میكروپمپها و بررسی خواص آنه ا نیز پرداخته میشود . سپس
packaging تكنیك های مختلف ساخت و پروسه های تولید معرفی خواهند شد . و در انتها مروری كوتاه بر
میكروپمپها خواهیم داشت .
امید است این مجموعه توجه علاقمندان را به كار در این زمینه جلب نماید ، كه در این صورت بخش بزرگی ازاهداف
برآورده شده است.

فهرست مطالب
عنوان مطالب شماره صفحه
چكیده ۱
مقدمه ۲
فصل اول : مروری بر تحقیقات گذشته ۴
۱-۱ ° ) پیشینه میكروپمپها ۵
۲-۱ ) روشهای به كار اندازی در میكروپمپها ۸
۳-۱ ) یكسو سازی جریان سیال در میكروپمپها ۱۸
در میكروپمپ ها ۲۰ dosing 4-1 ) ویژگیهای
۵-۱ ) مروری بر میكروپمپ های جریان پیوسته ۲۲
۲۵ μTAS 6-1 ) میكروپمپ ها و
فصل دوم : مواد مورد استفاده در ساخت میكروپمپها ۲۶
۲۷ SUBSTRATES AND WAFERS (1-2
از جنس مواد فعال ۲۸ substrate (2-2
28 SUBSTRATE 3-2 ) سیلیكون به عنوان ماده تشكیل دهنده
۴-۲ ) تركیبات سیلیكون ۳۸
۵-۲ ) كریستالهای پیزوالكتریك ۴۸
۶-۲ ) پلیمرها ۵۰
۵۴ PACKAGING MATERIALS (7-2
فصل سوم : پروسه های ساخت میكروپمپها ۵۶
۵۷ PHOTOLITHOGRAPHY (1-3
61 ION IMPLANTATION (2-3
64 DIFFUSION (3-3
فهرست مطالب
عنوان مطالب شماره صفحه
۶۶ OXIDATION (4-3
72 CHEMICAL VAPOR DEPOSITION (5-3
81 PHYSICAL VAPOR DEPOSITION SPUTTERING (6-3
81 EPITAXY 7-3 ) رسوب گذاری بوسیله
۸-۳ ) میكروماشینكاری بالك ۸۵
۸۶ ETCHING (9-3
97 SURFACE MICROMACHINING (10-3
103 THE LIGA PROCESS (11-3
108 PACKAGING : فصل چهارم
مكانیكی میكروالكترونیك ها ۱۰۹ packaging (1-4
میكروسیستمها ۱۱۱ packaging (2-4
میكروسیستم ۱۱۶ packaging 3-4 ) تقابل در
۱۱۷ PACKAGING 4-4 ) تكنولوژی های ضروری در
سه بعدی ۱۲۹ PACKAGING (5-4
6-4 ) مونتاژ میكروسیستمها ۱۳۰
۱۳۴ PACKAGING 7-4 ) انتخاب مواد برای
۱۳۶ SIGNAL MAPPING AND TRANSDUCTION (8-4
فصل پنجم : بحث و نتیج هگیری ۱۴۱
° بحث و نتیج هگیری ۱۴۲
فهرست مطالب
عنوان مطالب شماره صفحه
فهرست منابع ۱۴۳
چكیده انگلیسی ۱۴۴


عتیقه زیرخاکی گنج